電阻爐
南北儀器專業(yè)提供實驗室儀器設(shè)備一站式解決方案
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產(chǎn)品特點：
1. 垂直反應器的設(shè)計可使等離子密度高；對稱的微波發(fā)生裝置，使產(chǎn)生的等離子環(huán)境更均勻。
2. 微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內(nèi)沒有內(nèi)部電極,可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染,而且,它的運行氣壓范圍比較寬,所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。
技術(shù)參數(shù)：
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型號/model |
WBMW-DLZ3 |
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可加熱材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
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微波頻率 |
2.45GHZ±50MHz |
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加熱方式 |
純微波加熱 |
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大功率/KW |
3 (功率可調(diào)) |
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高工作溫度/℃ |
1200 |
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長期工作溫度/℃ |
≤1100 |
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溫度測試元件 |
微波場傳感器 |
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控溫精度/℃ |
±2 |
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石英管尺寸(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm |
φ102/φ92x1000 |
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真空系統(tǒng)配置（可選） |
簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭； |
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升溫速率(標配) |
50℃/min 可分 段加熱 300℃/min |
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外型尺寸(長x寬x高)/mm |
1000´750´1830 |
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微波泄漏量/ mW/㎝ |
≤0.4 |
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提供相關(guān)配件 |
高溫手套×1、中文說明書×1 |
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保質(zhì)期 |
整機保修1年 |
微信公眾號
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