SC-1B型勻膠機(jī)
主要適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。
性能指標(biāo)
1.控制顯示:LED數(shù)字控制器,用戶可通過控制器進(jìn)行參數(shù)修改設(shè)置;
2.勻膠模式:可同時輸入七組數(shù)值,即轉(zhuǎn)速及勻膠時間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ檔、……
Ⅶ檔, 從而達(dá)到啟動后先低速運轉(zhuǎn)(Ⅰ檔),然后自動執(zhí)行Ⅱ檔、……Ⅶ檔,
直至達(dá)到高速運轉(zhuǎn)。
3.勻膠時間: 1~9999s任意時間可設(shè)置
4.勻膠速度: 0~8000rmp可調(diào)
5.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度: ±1rmp
6.涂膠均勻性:±3%
7.可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm基片 (可按用戶要求擴(kuò)展)
8. 基片厚度: ≤5mm
配置規(guī)格
1.設(shè)備配置Ф200mm接膠裝置
2.電機(jī)額定功率90W,額定轉(zhuǎn)速1200rmp
3.吸氣系統(tǒng)配置FY-1C真空泵,抽氣速率60L/min(用戶可選配無油型真空泵)
4.樣片托可按用戶要求規(guī)格尺寸定做
5.輸入電源: AC220V/240V 50HZ
6.機(jī)身尺寸: 400×300×280(mm)
7.機(jī)身重量:11Kg