原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope ,AFM),一種可用來(lái)研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過(guò)檢測(cè)待測(cè)樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來(lái)研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。將一對(duì)微弱力極端敏感的微懸臂一端固定,另一端的微小針尖接近樣品,這時(shí)它將與其相互作用,作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運(yùn)動(dòng)狀態(tài)發(fā)生變化。掃描樣品時(shí),利用傳感器檢測(cè)這些變化,就可獲得作用力分布信息,從而以納米分辨率獲得表面形貌結(jié)構(gòu)信息及表面粗糙度信息。
南北儀器原子力顯微鏡廣泛的應(yīng)用:材料科學(xué)、微電子、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、光學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)等行業(yè)。
原子力顯微鏡主要由帶針尖的微懸臂、微懸臂運(yùn)動(dòng)檢測(cè)裝置、監(jiān)控其運(yùn)動(dòng)的反饋回路、使樣品進(jìn)行掃描的壓電陶瓷掃描器件、計(jì)算機(jī)控制的圖像采集、顯示及處理系統(tǒng)組成。微懸臂運(yùn)動(dòng)可用如隧道電流檢測(cè)等電學(xué)方法或光束偏轉(zhuǎn)法、干涉法等光學(xué)方法檢測(cè),當(dāng)針尖與樣品充分接近相互之間存在短程相互斥力時(shí),檢測(cè)該斥力可獲得表面原子分辨圖像,一般情況下分辨率也在納米水平。AFM測(cè)量對(duì)樣品無(wú)特殊要求,可測(cè)量固體表面、吸附體系等。
南北儀器原子力顯微鏡現(xiàn)場(chǎng)演示圖: