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三溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品型號(hào):多溫區(qū)管式爐

負(fù)責(zé)人:周貝貝

QQ:707171058

手機(jī):13526881466

在線留言 400-098-6966

產(chǎn)品詳情

設(shè)備簡介：

多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐，供氣和真空系統(tǒng)靈活組合，滿足各類薄膜沉積，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大面積的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。

配置詳情：

1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管，耐腐蝕耐高溫；

2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，降低設(shè)備功耗；

3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝，自動(dòng)抬升系統(tǒng)開啟上蓋；

4.燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置；
5、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)；
6、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄；
7、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測設(shè)備狀態(tài)；
8、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正

9.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng)，多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)；

產(chǎn)品溫區(qū)

三溫區(qū)

爐管尺寸

?25/?50/?60/?80/?100*1600mm

工作溫度

≤1150℃

加熱區(qū)選擇

(可定制）

200mm*3

200+300+200mm

200+400+200mm

300mm*3

300+400+300mm

升溫速率

≤20℃/s

電氣規(guī)格

AC380V 6~10KW

氣體系統(tǒng)（可選購）

浮子或質(zhì)子

管道示意圖

進(jìn)氣接口數(shù)量

2、3、4（多路可選）

流量范圍

20-250/20-800ml/min......(多量程可選)

50/100/200/500sccm......(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)（可選購）

真空泵型號(hào)

NBD-3C/NBD-4C

抽氣速率

3L/s或4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

KF16/25

系統(tǒng)真空

3~5Pa（真空泵真空6.2*10-2Pa）

工作環(huán)境溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC220V

高真空系統(tǒng)（可選購）

真空泵型號(hào)

NBD-103(A)

NBD-103(B)

抽氣速率

110L/s

600L/s

真空測量計(jì)

復(fù)合真空計(jì)

系統(tǒng)真空

4.310^-3Pa

6*10^-4Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC 220V

AC 380V

實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備

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