南北儀器專業(yè)提供實驗室儀器設備一站式解決方案
產品型號:NBD-O1200-50T3GF
負責人:周貝貝
QQ:707171058
手機:13526881466
設備簡介:
三溫區(qū)管式爐為滿足各類CVD工藝的要求,將多個溫區(qū)的控制儀表融合到了智能控制系統(tǒng)里邊,通過輕輕點擊觸摸屏即可完成參數(shù)設定。在滿足不同溫區(qū)梯度控制的同時,還可將多個溫區(qū)設定為同一溫度點,作為加長的單溫區(qū)使用。
配置詳情:
1. 雙層鋼結構; 2. 高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,節(jié)約能源; 3. 耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命; 4. 氧化鋁管塞可幫助您在管內建立自定義的溫度梯度。 | ||||||||||
產品型號 | NBD-O1200-50T3GF | |||||||||
電氣規(guī)格 | AC380V 2KW+4KW+2KW | |||||||||
可達溫度 | 1200 ℃ (<1小時) | |||||||||
連續(xù)溫度 | 1100 ℃ (連續(xù)) | |||||||||
可達加熱速率 | ≤ 20 ℃/分鐘 | |||||||||
加熱區(qū)長度 | 200mm+400mm+200mm(三溫三控:每個溫區(qū)均可運行) | |||||||||
爐管尺寸 | Φ50*1400mm | |||||||||
控制系統(tǒng) |
| 1.可預存15條溫度曲線,避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩; 2.實驗過程更加直觀,操作更加便捷; 3.NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式,非線性式樣溫度修正; 4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。 | ||||||||
溫度精度 | +/- 1 ℃ | |||||||||
加熱元件 |
| Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | ||||||||
密封系統(tǒng) |
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真空度:≤10Pa(機械泵) | ||||||||||
壓力測量與監(jiān)控 | | 采用帶有減震油的機械壓力表,使壓力波動時產生阻尼,減小指針來回擺動。 | ||||||||
供氣系統(tǒng) |
| 采用浮子流量計控制氣體流速,與設備一體化,方便控制,且出廠前已進行漏氣測試工作。 | ||||||||
凈重 | 90KG | |||||||||
設備使用注意事項 | 1. 設備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害; 2. 設備使用時,爐管內壓力不得超過0.125MPa,以防止壓力過大造成設備損壞; 3. 真空下使用時,設備使用溫度不得超過800℃。 4. 供氣鋼瓶內部氣壓較高,向爐管內通入氣體時,氣瓶上須安裝減壓閥,建議在選購試驗用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會準確安全。 5.當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài); 6.高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃ 7.加熱的實驗時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),壓力表讀數(shù)不要大于0.15MPa,須立刻打開排氣端閥門,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |