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NBD-O1200-60T3GF 三溫區(qū)型管式爐1200℃

產(chǎn)品型號:NBD-O1200-60T3GF

負(fù)責(zé)人:周貝貝

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產(chǎn)品詳情

設(shè)備簡介：

三溫區(qū)管式爐為滿足各類CVD工藝的要求，將多個溫區(qū)的控制儀表融合到了智能控制系統(tǒng)里邊，通過輕輕點擊觸摸屏即可完成參數(shù)設(shè)定。在滿足不同溫區(qū)梯度控制的同時，還可將多個溫區(qū)設(shè)定為同一溫度點，作為加長的單溫區(qū)使用。

配置詳情：

	1. 雙層鋼結(jié)構(gòu)； 2. 高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，節(jié)約能源； 3. 耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命； 4. 氧化鋁管塞可幫助您在管內(nèi)建立自定義的溫度梯度。
產(chǎn)品型號	NBD-O1200-60T3GF
電氣規(guī)格	AC380V 2KW+4KW+2KW
可達(dá)溫度	1200 ℃ （<1小時）
連續(xù)溫度	1100 ℃ （連續(xù)）
可達(dá)加熱速率	≤ 20 ℃/分鐘
加熱區(qū)長度	200mm+400mm+200mm（三溫三控：每個溫區(qū)均可運行）
爐管尺寸	Φ60*1400mm
控制系統(tǒng)			1.可預(yù)存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩； 2.實驗過程更加直觀，操作更加便捷； 3.NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對話模式，非線性式樣溫度修正； 4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。
溫度精度	+/- 1 ℃
加熱元件			Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金
密封系統(tǒng)
	真空度：≤10Pa（機(jī)械泵）
壓力測量與監(jiān)控		采用帶有減震油的機(jī)械壓力表，使壓力波動時產(chǎn)生阻尼，減小指針來回擺動。
供氣系統(tǒng)		采用浮子流量計控制氣體流速，與設(shè)備一體化，方便控制，且出廠前已進(jìn)行漏氣測試工作。
凈重	90KG
設(shè)備使用注意事項	1. 設(shè)備爐膛溫度≥300℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害； 2. 設(shè)備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa，以防止壓力過大造成設(shè)備損壞； 3. 真空下使用時，設(shè)備使用溫度不得超過800℃。 4. 供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高，向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上須安裝減壓閥，建議在選購試驗用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會準(zhǔn)確安全。 5.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)； 6.高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃ 7.加熱的實驗時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，壓力表讀數(shù)不要大于0.15MPa，須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

實驗儀器設(shè)備

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