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NBD-RT1700-120T2DY 高溫旋轉(zhuǎn)擺振CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號:NBD-RT1700-120T2DY

負(fù)責(zé)人:周貝貝

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產(chǎn)品詳情

設(shè)備簡介：

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域。

高溫旋轉(zhuǎn)擺振cvd系統(tǒng)由以下幾部分組成。
▲燒結(jié)系統(tǒng)；▲電控系統(tǒng)；▲真空系統(tǒng)；▲旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)；▲擺振系統(tǒng)

配置詳情：

	設(shè)備特點： 1、低真空、高真空、氣氛燒結(jié)均可。 2、控制穩(wěn)定可靠，操作方便。 3、采用PID自學(xué)習(xí)模糊控制，控溫精度高，保持在±1℃。 4、高低溫區(qū)采用物理隔離，可分別設(shè)置工藝曲線。 5、兼具旋轉(zhuǎn)擺振功能，可滿足客戶需求。 6、爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料，節(jié)能降耗。 7、具有物聯(lián)網(wǎng)功能（WIFI），可通過手機、電腦遠(yuǎn)程對設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控，操作。 8、數(shù)據(jù)存儲功能，可保存燒結(jié)的重要參數(shù)，時長達(dá)30天之久（每天開機8小時）。 9、配方功能，可預(yù)存配方100條以上。 10、多重防呆功能。 11、聯(lián)網(wǎng)功能，通過RJ45接口，采用TCP/IP協(xié)議，可以讓系統(tǒng)與上位機相連（上位機需安裝相應(yīng)軟件）。
產(chǎn)品型號	NBD-RT1700-120T2DY
供電電源	三相380V 50HZ
額定功率	15KW
測溫元件類型	B型熱電偶 150mm
低溫區(qū)Z高溫度	1400℃
高溫區(qū)Z高溫度	1600℃
加熱溫區(qū)尺寸	長660×深220×高160mm
爐體尺寸	長1200mm×高1260mm（不含點火器）×深760mm
Z高真空度	1*10-1Pa
Z大擺動角度	-18°
Z小擺動角度	4°
爐管Z大轉(zhuǎn)速	14r/min
爐體尺寸	長2650×深1050×高1450mm
推薦升溫速率	5℃/min（剛玉管不宜急冷急熱）
設(shè)備細(xì)節(jié)
控制系統(tǒng)		1. NBD-101PE嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式； 2. 帶壓力保護(hù)控制， 3. 燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 4. 可預(yù)約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 5. 實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄； 6. 具有實現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實時觀測設(shè)備狀態(tài)； 7. 溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正；預(yù)留留485接口支持MODBUS協(xié)議，客戶可遠(yuǎn)程實現(xiàn)電腦采集燒成溫度;
溫度精度	±1℃
流程控制畫面
重量	約600KG

實驗儀器設(shè)備

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NBD-RT1700-120T2DY 高溫旋轉(zhuǎn)擺振CVD系統(tǒng)

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