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NBD-T1500-200T66D6Z生產(chǎn)型一維材料制備CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào):NBD-T1500-200T66D6Z

負(fù)責(zé)人:周貝貝

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產(chǎn)品詳情

配置詳情:

設(shè)備特點(diǎn)	1、六溫三控加熱系統(tǒng)，溫場(chǎng)分布更均勻； 2、高純硅碳棒加熱，Z高工作溫度1380℃，可滿(mǎn)足更多CVD領(lǐng)域需求； 3、六路質(zhì)量流量計(jì)(MFC)氣體控制，同時(shí)設(shè)置有真空系統(tǒng)配合進(jìn)出氣系統(tǒng)使用，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)抽真空-補(bǔ)氣循環(huán)流程，以Z快的速度排空腔體內(nèi)部的氧氣； 4、電動(dòng)開(kāi)蓋系統(tǒng)，方便爐管的維護(hù)及更換； 5、4.3英寸彩色觸摸液晶屏，并支持多種工作模式的高精密注射泵，可以根據(jù)客戶(hù)需要選擇不同容積的針管進(jìn)行試樣的注射；同時(shí)可以跟隨工藝曲線設(shè)置注射泵的開(kāi)關(guān)，無(wú)需后期的人為操作，操作方便性提升； 6、PLC自動(dòng)化控制系統(tǒng)集成了設(shè)備上的控制，包含加熱和各種動(dòng)作都能夠在屏幕上進(jìn)行操作，并且能夠跟隨工藝曲線設(shè)置不同的進(jìn)氣和流量的設(shè)置，可以實(shí)現(xiàn)不同工藝下的快速組合，并且支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出及預(yù)存和調(diào)用配方功能。
產(chǎn)品型號(hào)	NBD-T1500-200T66D6Z
供電電源	三相380V 50HZ
控溫精度	±1℃
額定功率	36KW
傳感器類(lèi)型	S型熱電偶
溫度	1500℃
長(zhǎng)期工作Z高溫度	1380℃
加熱元件	高純硅碳棒
溫區(qū)尺寸	2602401430mm
爐管材質(zhì)	反應(yīng)燒結(jié)碳化硅
注射泵供給速度	5-10ml/小時(shí)
推薦升溫速率	≤3℃/min（注意：超過(guò)Z大升溫速率可能會(huì)導(dǎo)致?tīng)t管斷裂）
爐管尺寸	內(nèi)徑φ180mm，壁厚10mm，長(zhǎng)2150mm
爐體外形尺寸	長(zhǎng)3700×深1000×高1420mm
上蓋打開(kāi)方式	電動(dòng)開(kāi)合 Z大角度45度
基于PLC控制單元的全觸屏智能人機(jī)交互系統(tǒng)	1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄； 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。
物料收集系統(tǒng)： 1、通過(guò)不銹鋼波紋管與碳化硅爐管相連，有效保護(hù)高溫工作中的碳化硅爐管； 2、高純石英觀察窗，可隨時(shí)觀察物料收集狀態(tài)； 3、手動(dòng)閥和電磁閥雙重保障，確保出氣控制穩(wěn)定運(yùn)行； 4、收集腔室內(nèi)部配置多孔收集板，可提高物料收集效率； 5、收集系統(tǒng)通過(guò)手輪調(diào)節(jié)與爐管的距離，并可通過(guò)旋轉(zhuǎn)與爐體保持一定角度，方便物料的取出。
高精密注射泵：采用4.3英寸彩色觸摸液晶屏，方便快速設(shè)置參數(shù)，多個(gè)指示燈清晰確認(rèn)其工作狀態(tài)，支持多種注射器型號(hào)選擇，可適應(yīng)不同實(shí)驗(yàn)流量需求，高精度控制，并設(shè)有軟硬保護(hù)機(jī)制，支持注射、抽取等四種工作模式。內(nèi)置RS485通訊，支持Modbus協(xié)議，寬范圍電源輸入，適應(yīng)各種場(chǎng)合。單通道、雙通道、多通道可供選擇。
六路質(zhì)量流量控制器（6MFC）混氣系統(tǒng)
重量	約660KG

實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備

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