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NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N 液氣CVD一體機(jī)

產(chǎn)品型號:NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N

負(fù)責(zé)人:周貝貝

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設(shè)備簡介：

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域；

本設(shè)備基于新能源領(lǐng)域客戶需求，反應(yīng)氣體包括易燃易爆及有毒有害氣體，及通過氣相發(fā)生器氣化的液體。多路質(zhì)量流量計(jì)準(zhǔn)確控制進(jìn)氣量。高精度壓力傳感器、電磁閥、氣體檢測儀、報(bào)警器及尾氣處理罐。

技術(shù)參數(shù)：

	1.通過高精度氧分析儀確保無氧工作環(huán)境； 2.物料在基于旋轉(zhuǎn)擺振結(jié)構(gòu)的異形石英腔內(nèi)，能夠在穩(wěn)定均勻的溫場內(nèi)，大程度地與反應(yīng)氣體充分接觸； 3.懸掛式氣相發(fā)生器，能夠在工作腔擺振的同時(shí)，始終保持水平穩(wěn)定輸出； 4.多路質(zhì)量流量控制器，可準(zhǔn)確控制氣體流量； 5.高密封性連接工藝，可燃性氣體及有毒有害氣體無任何泄露，高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內(nèi)的壓力始終在設(shè)定范圍； 6.易燃易爆及有毒有害氣體檢測儀與設(shè)備聯(lián)動，可及時(shí)獲取實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)并采取相應(yīng)閉合措施，同時(shí)，兩個報(bào)警儀在超出設(shè)定警戒值時(shí)發(fā)出預(yù)警提示； 7.工作腔室排出的尾氣通過尾氣處理罐進(jìn)行無害化處理。
產(chǎn)品型號	NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N
供電電源	三相380V 50HZ
控溫精度	±1℃
額定功率	8KW
測溫元件類型	K型熱電偶 250mm
Z高溫度	1100℃
加熱溫區(qū)尺寸	φ150*430mm
爐管材質(zhì)	高純石英
爐管容積	5L
樣品有效容積	500ml
傾斜角度	-20度（出料）~3度（進(jìn)料）
爐管轉(zhuǎn)速	0.1~12.6轉(zhuǎn)/每分鐘
爐體尺寸	長1550×深830×高1360mm（含乙炔報(bào)警器2160mm）
推薦升溫速率	10℃/min
重量	約260KG
控制系統(tǒng)		1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄； 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。

實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備

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