熱處理設(shè)備
南北儀器專業(yè)提供實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備一站式解決方案
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產(chǎn)品型號(hào):CVD系統(tǒng)
負(fù)責(zé)人:周貝貝
QQ:707171058
手機(jī):13526881466
配置詳情:
| 1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管，耐腐蝕耐高溫； 2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，保溫效果好，降低設(shè)備功耗； 3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝，自動(dòng)抬升系統(tǒng)開啟上蓋； 4.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，實(shí)時(shí)加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實(shí)驗(yàn)報(bào)告自主生成，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。 5.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng)，多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)； | ||
產(chǎn)品型號(hào) | 六溫區(qū) | ||
爐管尺寸 | ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm | ||
工作溫度 | ≤1150℃ | ||
加熱區(qū)選擇 (可定制） | 200mm*6 300mm*6 | ||
升溫速率 | ≤20℃/min | ||
電氣規(guī)格 | AC380V 12~18KW | ||
氣體系統(tǒng)（可選購） | 浮子或質(zhì)量流量計(jì)（MFC） | ||
管道示意圖 | |
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進(jìn)氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | ||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min......(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選) | ||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||
低真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號(hào) | NBD-3C/NBD-4C | |
抽氣速率 | 3L/s或4L/s | ||
進(jìn)排氣口尺寸 | KF16/25 | ||
系統(tǒng)真空 | 3~5Pa（真空泵真空6.2*10-2Pa） | ||
工作環(huán)境溫度 | 5-40℃ | ||
電氣規(guī)格 | AC220V | ||
高真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號(hào) | NBD-103(B) | |
抽氣速率 | 600L/s | ||
真空測(cè)量計(jì) | 復(fù)合真空計(jì) | ||
系統(tǒng)真空 | 6*10^-4Pa | ||
工作溫度 | 5-40℃ | ||
電氣規(guī)格 | AC 380V | ||
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