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D07-11C質(zhì)量流量控制器&流量計
D07-11是熱式質(zhì)量流量計,質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制,除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(MFM)可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-11產(chǎn)品是七星流量計研發(fā)的高壓產(chǎn)品,z高耐壓10MPa。
特點
? 高耐壓性
? 橡膠密封、模擬電路的MFC
? 采用DB15型電插頭,guo際標準機械接頭
? CE認證,guo際兼容
技術(shù)參數(shù)
編號 | 類型 | D07-11C | D07-11CM |
1 | 流量規(guī)格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
2 | 準確度 | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
3 | 線性 | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
5 | 響應(yīng)時間 | 電特性: 10 sec 氣特性: ≤ 4 sec | |
6 | z大工作壓力 | 10 MPa | - |
7 | 氣壓降 | - | < 0.02 MPa |
8 | 工作壓差范圍 | ≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa | - |
9 | 耐壓 | 10 MPa | 10 MPa |
10 | 工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
11 | 輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | |
12 | 電源 | +15 V 50 mA | |
13 | 外形尺寸 | 詳見圖4 | |
14 | 重量 | 1.2kg | 1kg |