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比色紅外測溫儀具有如下優(yōu)點
● 雙色比值技術擺脫了對相對能量測量的依賴,可進行更高精度、重復性的溫度測量。
● 雙色比值技術降低或消除了大部分環(huán)境對其的影響,比如臟透鏡、臟窗口等。
● 雙色比值技術其原理決定了所測溫度為目標溫度大值,更接近目標溫度實際值。
● 未知發(fā)射率情況下,雙色比值技術有相對測溫優(yōu)勢。
● 具有單雙色模式,也可作為單色測溫儀使用。
技術指標
Parameters | ST300-A | ST300-B |
測溫范圍 (Measuring Range) | 700℃~1800℃ | 1000℃~3000℃ |
坡 度 (Slope) | 0.800~1.200 雙色模式(2-color mode) | |
響應時間 (Response Time) | ≤20 ms | |
測量精度 (Measuring Accuracy) | ±1% FS | |
重復精度 (Repeatability) | ±0.5% FS | |
瞄準方式 (Sighting System) | 望遠鏡目視瞄準(telESCOpe sighting)
焦距(focal length)0.5m~3.0m可調(adjustable) |
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發(fā) 射 率 (Emissivity) | 0.10~1.00單色模式(monochrome mode) | |
光學分辨率(Resolution) | 300:1 單色模式(monochrome mode) | |
光譜響應 (Spectral Response) | 0.7μm~1.3μm | |
數(shù)字通信 (Digital Communication) | RS485 | |
輸 出 (Output) | 4~20mA | |
輸出繼電器(Relay output) | 1A30VDC/0.5A125VAC
阻抗(impedance):≤50mΩ |
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功 率 (Power Rating) | 大(maximum)2W | |
防護等 (Protection Grade) | IP65 | |
工作溫度 (Operating Temperature) | -20℃~60℃ | |
相對濕度 (Relative Humidity) | 10%~95%不結露(noncodensing) | |
儀器重量 (weight) | 0.6Kg | |
測溫方式 (Temperature Measurement Methods) | 瞬時值(TEM)、大值(MAX)、平均值(AVG) | |
電 源 (Power) | 24VDC, ±20%, 250mA |
典型應用
● 多晶硅
多晶硅開始時半導體硅芯在還原爐中被高電壓擊穿,通過硅芯的電流使硅芯達到工藝要求的1080℃,而且此工藝溫度在硅芯由φ7mm~φ180mm生長的過程中必須一直保持恒定。但隨著硅棒的直徑不斷增加,其相應阻抗會不斷減小,電流對硅棒的加熱能力因而降低。要維持1080℃的恒定硅棒溫度,只能相應不斷增大工作電流(電流將由開始時的30A增大到結束時的2800A)。如此大動態(tài)范圍電流的變化,對設備及操作人員都提出了相當高的要求。另外,硅棒在達到1420℃時將熔化,所以測量多晶硅的溫度至關重要。
測量難點:
(1)開始時的硅芯直徑只有φ7mm,目標太小。
(2)紅外測溫儀測量硅棒的溫度時,必須將設備安裝于還原爐外部,透過密封石英窗口瞄準爐內目標。視窗污染對透過率產生的影響而導致實際測量誤差。
(3)雙層石英玻璃對紅外信號衰減較大。
ST300系列比色測溫儀優(yōu)勢:
(1)采用比色測溫原理直接測量目標的真實溫度而基本不受材料輻射率的影響,無需進行發(fā)射率的補償。
(2)目視瞄準,可直接看到目標。
(2)對窗口輕微污染不敏感。
(3)擺脫了對紅外相對能量的依賴,對信號衰減不敏感。
● 真空燒結爐
真空燒結爐是在真空環(huán)境中對被加熱物品進行保護性燒結的爐子,其加熱方式比較多,如電阻加熱、感應加熱、微波加熱等。真空燒結是在真空或保護氣氛條件下,加熱硬質合金刀頭及各種金屬粉末壓制體實現(xiàn)燒結,水汽等對光路和窗口都會造成污染。
ST300系列比色測溫儀優(yōu)勢:
(1) 測溫不受光路污染影響。
(2) 對窗口污染不敏感。
●鹽浴爐
鹽浴爐是用熔融鹽液作為加熱介質、將工件浸入鹽液內加熱的工業(yè)爐(能過金屬電極在鹽液中加熱)。根據爐子的工作溫度,通常選用氯化鈉、氯化鉀、氯化鋇、氰化鈉、氰化鉀、硝酸鈉、硝酸鉀等鹽類作為加熱介質。鹽浴爐的加熱速度快,溫度均勻。工件始終處于鹽液內加熱,工件出爐時表面又附有一層鹽膜,所以能防止工件表面氧化和脫碳。加熱時有一定的煙霧,對人體有害,應加排煙設備。對儀器透鏡有污染。
ST300系列比色測溫儀優(yōu)勢:
(1)測溫不受煙霧污染的影響。
(2)測溫儀透鏡輕微污染不影響測溫。
●熱軋
在熱軋過程中,鋼坯在加熱爐內被加熱,以便軟化后軋制。如果金屬溫度太低,在其后的軋制過程中將因太硬而產生表面裂縫,同時也會使軋制設備受到損壞。而如果金屬溫度太高,在軋制過程中將出現(xiàn)表面破裂、熔化或瑕疵。如果金屬受熱不均勻,鋼材將出現(xiàn)不規(guī)則變形,導致產品質量低劣,甚至廢品。然而鋼坯測溫時有氧化皮、水汽等影響。其中氧化皮發(fā)射率高,鋼坯發(fā)方射率低。
ST300系列比色測溫儀優(yōu)勢:
(1)無氧化皮帶來的發(fā)射率影響。
(2)測溫儀透鏡輕微污染不影響測溫。
●當帶鋼被軋制成終形狀后,用噴水淬火的方式來使產品達到需要的晶體結構和機械特性。如果金屬冷卻速度快,金屬的晶體結構更細、硬度較高。如果冷卻速度慢,金屬會相對柔軟且易彎曲。對某些鋼種,如雙相鋼,需要將薄板冷卻至一個較低的溫度,有時需要快速冷卻,保證硬度。在這種情況下,冷卻過程中的測溫非常重要,因為它是產品是否能夠達到合格特性的重要條件。自然地,在淬火過程中測量帶鋼溫度,水和濃的蒸汽是一個相當嚴重的干擾。在此情況下,所選擇的傳感器必須能夠穿過蒸汽和水來測量,但是能夠穿過水層測量的傳感器是不存在的。因此需要在積水并不持續(xù)存在的情況下進行測量。
ST300系列比色測溫儀優(yōu)勢:
(1)無氧化皮帶來的發(fā)射率影響。
(2)測溫技術消除了大部分水汽的影響。
(3)測溫儀透鏡輕微污染不影響測溫。