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ST-102D型探針測試臺
ST-102D型探針測試臺(英文叫Prober station,中文又稱中測臺,點(diǎn)測機(jī)。)、與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能調(diào)試,適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測試。
技 術(shù) 指 標(biāo) :
工作臺面 | 370mm*245mm |
載物臺直徑 | 4" |
可選二種放大倍數(shù) | *14-90倍連續(xù)變倍; |
光學(xué)參數(shù) | 手輪調(diào)焦范圍:60mm;升降調(diào)焦范圍:200mm; |
精密旋轉(zhuǎn)臺 | 粗調(diào)范圍:360°;微調(diào)范圍:±10°;z小刻劃:1°; |
三維探針座 | 探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍:±3.25mm,分辨率±2μ; |
探針 | 探針材質(zhì)硬質(zhì)合金,針尖曲率半徑2μm; |
標(biāo)準(zhǔn)配置:主工作臺、顯微鏡、承片臺、三維微調(diào)架2個(gè)、探針臂2支、探針2支。
可選配件:三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。
可按用戶的實(shí)際需求進(jìn)行訂做。